Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
收录 4,406 篇论文，累计被引 47,499 次，出版年份 2010–2026。
- 收录篇数
- 4,406
- 总被引
- 47,499
- 篇均被引
- 11
- 单篇最高被引
- 916
- 年份区间
- 2010–2026
- 近五年篇数
- 981
逐年收录分布
近 17 个有收录的年份（最多 40 个）。悬停查看当年篇数。
查看数据表
| 年份 | 篇数 | 占比 |
|---|---|---|
| 2026 | 119 | 2.7% |
| 2025 | 178 | 4.0% |
| 2024 | 186 | 4.2% |
| 2023 | 187 | 4.2% |
| 2022 | 159 | 3.6% |
| 2021 | 152 | 3.4% |
| 2020 | 197 | 4.5% |
| 2019 | 244 | 5.5% |
| 2018 | 211 | 4.8% |
| 2017 | 242 | 5.5% |
| 2016 | 303 | 6.9% |
| 2015 | 268 | 6.1% |
| 2014 | 293 | 6.7% |
| 2013 | 300 | 6.8% |
| 2012 | 357 | 8.1% |
| 2011 | 475 | 10.8% |
| 2010 | 535 | 12.1% |
代表作
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