Materials Science in Semiconductor Processing
收录 577 篇论文，累计被引 4,861 次，出版年份 1998–2026。
- 收录篇数
- 577
- 总被引
- 4,861
- 篇均被引
- 8.4
- 单篇最高被引
- 658
- 年份区间
- 1998–2026
- 近五年篇数
- 526
逐年收录分布
近 16 个有收录的年份（最多 40 个）。悬停查看当年篇数。
查看数据表
| 年份 | 篇数 | 占比 |
|---|---|---|
| 2026 | 217 | 37.6% |
| 2025 | 119 | 20.6% |
| 2024 | 96 | 16.6% |
| 2023 | 58 | 10.1% |
| 2022 | 15 | 2.6% |
| 2021 | 21 | 3.6% |
| 2020 | 6 | 1.0% |
| 2019 | 9 | 1.6% |
| 2018 | 5 | 0.9% |
| 2017 | 7 | 1.2% |
| 2016 | 7 | 1.2% |
| 2015 | 11 | 1.9% |
| 2014 | 2 | 0.3% |
| 2013 | 2 | 0.3% |
| 2009 | 1 | 0.2% |
| 1998 | 1 | 0.2% |
代表作
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