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Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films

收录 17,298 篇论文，累计被引 398,916 次，出版年份 1983–2026。

收录篇数
17,298
总被引
398,916
篇均被引
23
单篇最高被引
1,787
年份区间
1983–2026
近五年篇数
1,777

逐年收录分布

近 40 个有收录的年份（最多 40 个）。悬停查看当年篇数。

03727441987 年：699 篇19871988 年：624 篇1989 年：612 篇1990 年：744 篇1991 年：562 篇1992 年：596 篇19921993 年：525 篇1994 年：541 篇1995 年：503 篇1996 年：539 篇1997 年：519 篇19971998 年：583 篇1999 年：562 篇2000 年：508 篇2001 年：488 篇2002 年：388 篇20022003 年：325 篇2004 年：429 篇2005 年：283 篇2006 年：346 篇2007 年：259 篇20072008 年：234 篇2009 年：218 篇2010 年：210 篇2011 年：242 篇2012 年：231 篇20122013 年：227 篇2014 年：238 篇2015 年：265 篇2016 年：236 篇2017 年：211 篇20172018 年：194 篇2019 年：221 篇2020 年：310 篇2021 年：296 篇2022 年：238 篇20222023 年：326 篇2024 年：340 篇2025 年：304 篇2026 年：273 篇2026
纵轴为当年收录篇数；峰值 744 篇（1990 年）。
查看数据表
年份篇数占比
20262731.8%
20253042.0%
20243402.2%
20233262.1%
20222381.5%
20212961.9%
20203102.0%
20192211.4%
20181941.3%
20172111.4%
20162361.5%
20152651.7%
20142381.5%
20132271.5%
20122311.5%
20112421.6%
20102101.4%
20092181.4%
20082341.5%
20072591.7%
20063462.2%
20052831.8%
20044292.8%
20033252.1%
20023882.5%
20014883.2%
20005083.3%
19995623.6%
19985833.8%
19975193.4%
19965393.5%
19955033.3%
19945413.5%
19935253.4%
19925963.9%
19915623.6%
19907444.8%
19896124.0%
19886244.0%
19876994.5%

代表作

  1. 0
    Microstructural evolution during film growth ↗

    2003 年 · 被引 1,787 次

  2. 1
    Nanosphere lithography: A materials general fabrication process for periodic particle array surfaces ↗

    1995 年 · 被引 1,465 次

  3. 2
    Theory of ripple topography induced by ion bombardment ↗

    1988 年 · 被引 1,399 次

  4. 3
    The microstructure of sputter‐deposited coatings ↗

    1986 年 · 被引 1,336 次

  5. 4
    Structural analysis of Si(111)-7×7 by UHV-transmission electron diffraction and microscopy ↗

    1985 年 · 被引 1,317 次

  6. 5
    The search for novel, superhard materials ↗

    1999 年 · 被引 1,208 次

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