Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics Processing and Phenomena
收录 2,529 篇论文，累计被引 62,247 次，出版年份 1983–1990。
- 收录篇数
- 2,529
- 总被引
- 62,247
- 篇均被引
- 25
- 单篇最高被引
- 615
- 年份区间
- 1983–1990
- 近五年篇数
- 0
逐年收录分布
近 8 个有收录的年份（最多 40 个）。悬停查看当年篇数。
查看数据表
| 年份 | 篇数 | 占比 |
|---|---|---|
| 1990 | 373 | 14.7% |
| 1989 | 373 | 14.7% |
| 1988 | 449 | 17.8% |
| 1987 | 317 | 12.5% |
| 1986 | 259 | 10.2% |
| 1985 | 331 | 13.1% |
| 1984 | 151 | 6.0% |
| 1983 | 276 | 10.9% |
代表作
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